[发明专利]有机硅烷激光气相合成硅基超细粉无效
| 申请号: | 94110393.5 | 申请日: | 1994-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN1038124C | 公开(公告)日: | 1998-04-22 |
| 发明(设计)人: | 梁勇;李亚利;郑丰;肖克沈;线全刚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号: | C01B31/36 | 分类号: | C01B31/36;C01B21/06 |
| 代理公司: | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人: | 张晨 |
| 地址: | 110015 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于以有机硅烷为主体反应物,以氢和/或氨为附加反应气,在下述工艺条件下激光功率密度(P)500~6000W/cm2,反应压力(Pe)0.2~1atm,反应总气流量(Φt)1200~6000cm3/min,反应时间(t)0.2~4ms,反应温度(T)600~1800℃,合成硅基超细粉。用该方法可大幅度降低成本,高质量地合成硅基超细粉。 | ||
| 搜索关键词: | 有机 硅烷 激光 相合 成硅基超细粉 | ||
【主权项】:
1.一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于:——以有机硅烷为主体反应物,其结构通式为:(Ra1Rb2Si)2NR3,其中Ra1、Rb2、R3均为烷烃基或氢,a、b为烷基或氢的个数,a+b=3;——以氢和/或氨为附加反应气,主体反应物与附加反应气的摩尔比为:1∶1~10;——在下述工艺条件下激光气相合成硅基超细粉:激光功率密度(P):500~6000W/cm2反应压力(Pe):0.2~1atm反应总气流量(φt):1200~6000cm3/min反应时间(t):0.2~4ms反应温度(T):600~1800℃
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