[发明专利]有机硅烷激光气相合成硅基超细粉无效

专利信息
申请号: 94110393.5 申请日: 1994-07-19
公开(公告)号: CN1038124C 公开(公告)日: 1998-04-22
发明(设计)人: 梁勇;李亚利;郑丰;肖克沈;线全刚 申请(专利权)人: 中国科学院金属研究所
主分类号: C01B31/36 分类号: C01B31/36;C01B21/06
代理公司: 中国科学院沈阳专利事务所 代理人: 张晨
地址: 110015 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于以有机硅烷为主体反应物,以氢和/或氨为附加反应气,在下述工艺条件下激光功率密度(P)500~6000W/cm2,反应压力(Pe)0.2~1atm,反应总气流量(Φt)1200~6000cm3/min,反应时间(t)0.2~4ms,反应温度(T)600~1800℃,合成硅基超细粉。用该方法可大幅度降低成本,高质量地合成硅基超细粉。
搜索关键词: 有机 硅烷 激光 相合 成硅基超细粉
【主权项】:
1.一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于:——以有机硅烷为主体反应物,其结构通式为:(Ra1Rb2Si)2NR3,其中Ra1、Rb2、R3均为烷烃基或氢,a、b为烷基或氢的个数,a+b=3;——以氢和/或氨为附加反应气,主体反应物与附加反应气的摩尔比为:1∶1~10;——在下述工艺条件下激光气相合成硅基超细粉:激光功率密度(P):500~6000W/cm2反应压力(Pe):0.2~1atm反应总气流量(φt):1200~6000cm3/min反应时间(t):0.2~4ms反应温度(T):600~1800℃
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