[实用新型]微型冷阴极溅射离子泵无效
| 申请号： | 93237058.6 | 申请日： | 1993-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN2165528Y | 公开（公告）日： | 1994-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周旭辉;于广陵;刘士杰;刘玉凤 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01J41/18 | 分类号： | H01J41/18 |
| 代理公司： | 华东工学院专利事务所 | 代理人： | 张骏鸣 |
| 地址： | 210014 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微型冷阴极溅射离子泵，其特征是它采用了多个阳极子筒并联在一个大阳极筒内的新型阳极结构，使阳极构成巢状具有多个单元泵的抽真空和排气功能。该微型泵解决了现有技术中抽速小、结构不紧凑不合理的缺点，并有效地改善了泵在低真空度下的抽气性能。充分利用了泵体内的有效空间，在保证抽速加大情况下，体积增加甚微，可广泛用于光电器件的阴极制造上，也可作为附件用于其它电子真空器件上。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 阴极 溅射 离子 | ||
【主权项】：
1、一种微型冷阴极溅射离子泵，它包括泵体[2]、排气管[1]、瓷环[4]、引线[5]和磁钢[3]等，在泵体[2]内有阳极筒[6]，泵体[2]上、下端面设有阴极板[8]，排气管[1]焊接于泵体[2]的一个侧面，引线[5]通过位于泵体[2]另一个侧面上的瓷环[4]悬接于阳极筒[6]上，磁钢[3]的两极位于泵体[2]的上、下两端，其特征是阳极筒[6]内并联装有阳极子筒[7]。
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