[实用新型]微型冷阴极溅射离子泵无效
| 申请号： | 93237058.6 | 申请日： | 1993-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN2165528Y | 公开（公告）日： | 1994-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周旭辉;于广陵;刘士杰;刘玉凤 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | H01J41/18 | 分类号： | H01J41/18 |
| 代理公司： | 华东工学院专利事务所 | 代理人： | 张骏鸣 |
| 地址： | 210014 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微型 阴极 溅射 离子 | ||
【权利要求书】：
1、一种微型冷阴极溅射离子泵，它包括泵体[2]、排气管[1]、瓷环[4]、引线[5]和磁钢[3]等，在泵体[2]内有阳极筒[6]，泵体[2]上、下端面设有阴极板[8]，排气管[1]焊接于泵体[2]的一个侧面，引线[5]通过位于泵体[2]另一个侧面上的瓷环[4]悬接于阳极筒[6]上，磁钢[3]的两极位于泵体[2]的上、下两端，其特征是阳极筒[6]内并联装有阳极子筒[7]。
2、根据权利要求1所述的微型冷阴极溅射离子泵，其特征是上述阳极子筒的个数为3～28个。
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