[实用新型]精密二维宽范围弹性扫描工作台

摘要

一种精密宽范围弹性扫描工作台，在一块板材上依杠杆原理加工出X-Y坐标二维n级杠杆弹性支承机构和工作台，其中一坐标的n级杠杆弹性支承机构和工作台安置在另一坐标系的工作台之中，利用安置在每一坐标系中第一级力作用点处的力作用源逐级驱动各坐标系工作台的运动。本实用新型所述的技术，由于采用了4支承筋的工作台，使刚性大幅度提高，从而提高了测量时扫描的频率和效率，提高了工作稳定性可实现高刚度的宽范围扫描测量。

主权项

1、一种精密二维宽范围弹性扫描工作台，主要由n级(n=1，2，3……)杠杆和工作台组成，其特征在于，在一块板材上依照杠杆原理加工出槽和缝，其槽和缝形成n级(n=1，2，3……)杠杆和工作台，每一杠杆均有弹性支承点，力作用点和端点，每一级杠杆的端点均与下一级杠杆的力作用点相连，在第一级杠杆的力作用点的位置安置有一个力作有源，在第n级杠杆的端点处设置有由支承筋支承的弹性工作台，以上构成一维运动的工作台；另一维运动的工作台，依照上述相同原理和构成，旋转90°设置在前一维坐标系的工作台之中。