[实用新型]精密二维宽范围弹性扫描工作台

权利要求书

1、一种精密二维宽范围弹性扫描工作台，主要由n级(n=1，2，3……)杠杆和工作台组成，其特征在于，在一块板材上依照杠杆原理加工出槽和缝，其槽和缝形成n级(n=1，2，3……)杠杆和工作台，每一杠杆均有弹性支承点，力作用点和端点，每一级杠杆的端点均与下一级杠杆的力作用点相连，在第一级杠杆的力作用点的位置安置有一个力作有源，在第n级杠杆的端点处设置有由支承筋支承的弹性工作台，以上构成一维运动的工作台；另一维运动的工作台，依照上述相同原理和构成，旋转90°设置在前一维坐标系的工作台之中。

2、按照权要求1所说的工作台，其特征在于，在所说的四支承筋所形成的弹性工作台两边还可设置4个保证工作台运动精度，和提高柔性、保障平衡的弹性支点。

3、按照权利要求1或2所说的工作台，其特征在于，所说的弹性支承点可位于力作用点外，与端点相对的杠杆另一端，也可以位于力作用点与端点之间。

4、按照权利要求3所说的工作台，其特征在于，所说的弹性支承点、支点，可被加工成圆弧切口形成。

5、按照权利要求4所说的工作台，其特征在于，X轴、Y轴坐标系均为二级放大弹性扫描工作台。

6、按照权利要求5所说的工作台，其特征在于，在所说的每一坐标系的第一级力作用点的位置均安置有力作用源。