[实用新型]真空镀膜机移动靶装置无效
| 申请号： | 93212674.X | 申请日： | 1993-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN2162470Y | 公开（公告）日： | 1994-04-20 |
| 发明（设计）人： | 张文华 | 申请（专利权）人： | 张文华 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100088 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜机移动靶装置，包括沿导轨移动吊装磁控靶的移动装置，柔性冷却管和电缆，滑轮组，冷却管和电缆输入端子，无级变速装置及磁控靶，具有镀膜室比较小，移动靶装置结构简单，易于控制，被镀工件镀膜均匀等特点，提高了生产效率，降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 移动靶 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜机移动靶装置，其特征在于包括吊装在移动装置上的磁控靶，沿导轨移动吊装磁控靶的移动装置，装在滑轮组上的柔性冷却管和电缆，由滑轮舱内的动滑轮和装在移动舱室端部的定滑轮组成的滑轮组，装在滑轮舱上部的冷却管和电缆输入端子，装在移动舱室上部的驱动移动装置的无级变速装置。
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