[实用新型]真空镀膜机移动靶装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机移动靶装置。

近年来，用磁控溅射技术或离子镀膜技术的真空镀膜设备（PVD设备）对大面积工件进行镀膜时，为达到镀膜均匀，可以采取在镀膜室内将靶固定，而使被镀工件移动的办法，这样必然要增加镀膜室的长度，加大了设备的体积和制造成本，且生产效率低；也可采用多靶镀膜室的方法（见公告号为CN2036533U的申请号为88216736.7的专利文献）。靶和被镀工件都不移动，这样镀膜室的体积相对来讲比较小，但由于采用多靶，而靶的同步控制难度大，制造成本也更高。

本实用新型的目的是设计结构简单，易于控制，镀膜室体积相对比较小，使被镀工件镀膜均匀，提高生产效率，降低制造成本的移动靶装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

真空镀膜机移动靶装置，其特征在于包括吊装在移动装置上的磁控靶，沿导轨移动吊装磁控靶的移动装置，装在滑轮组上的柔性冷却管和电缆，由滑轮舱内的动滑轮和装在移动舱室端部的定滑轮组成的滑轮组，冷却管和电缆输入端子，装在移动舱室上部的驱动移动装置的无级变速装置。

由于采取了上述技术方案，使得真空镀膜室相对体积减小，且移动靶装置结构简单，易于控制，镀膜均匀，尤其适用于大面积平面工件的镀膜，并可安装两个或两个以上的靶同时对多个工件进行镀膜，进一步提高效率，降低成本。

附图说明：

图1是真空镀膜机移动靶装置图。

图2是图1的A－－A剖视图。

结合附图所示的实施例对本实用新型进一步描述如下：

真空镀膜机移动靶装置是这样工作的：吊装移动装置（5）由安装在移动舱室（11）上部的无级变速装置（4）驱动，带动靶（1）沿移动舱室内的导轨相对于工件（3）匀速移动，同时带动装在滑轮组上的柔性冷却管和电缆与靶同步移动，滑轮组由滑轮舱内的动滑轮（9）和固定在移动舱室端部的定滑轮（7）组成。冷却管和电缆的输入端子固定在滑轮舱的上部。