[发明专利]共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪

摘要

一种共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪，可用于作成精密测长、测速仪等。本发明是在迈克尔逊干涉仪中加进一参考光路，它共用原干涉仪的激光器和一个反射面组成另一个干涉仪而成为孪生干涉仪。让共用反射面往返运动成为外差移频面以替代双频的作用来减小低频噪音误差。激光器频漂引起的光电信号频率变化对两干涉仪完全相同(共模)，频率合成相减可对消频漂误差。本发明结构简单，成本低廉，测量误差Δf/f≤1×10-18。

主权项

1.一种共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪，其包括由激光器[1]、部分反射面[2]、反射面[3]和[4]以及光电探测器[5]组成的测量干涉仪，还包括由部分反射面[7]、反射面[8]和光电探测器[6]组成的参考光路，此参考光路共用前述测量干涉仪的激光器[1)和反射面[4]再组成一个参考干涉仪，其特征在于：所说的共用反射面[4]将所说的测量干涉仪与参考干涉仪结合成为共模抑制频漂干扰的孪生激光干涉仪，所说的共用反射面[4]同时又以一定的速度往返运动成为外差移频反射面。