[发明专利]共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪

权利要求书

1.一种共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪，其包括由激光器[1]、部分反射面[2]、反射面[3]和[4]以及光电探测器[5]组成的测量干涉仪，还包括由部分反射面[7]、反射面[8]和光电探测器[6]组成的参考光路，此参考光路共用前述测量干涉仪的激光器[1)和反射面[4]再组成一个参考干涉仪，其特征在于：所说的共用反射面[4]将所说的测量干涉仪与参考干涉仪结合成为共模抑制频漂干扰的孪生激光干涉仪，所说的共用反射面[4]同时又以一定的速度往返运动成为外差移频反射面。

2.根据权利要求1所述的共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪，其特征在于：共用反射面[4]的往返运动是用一定频率与恰当幅度的三角波驱动电源施加在电磁伸缩元件上来实现。

3.根据权利要求1所述的共模抑制频漂干扰外差移频式孪生激光干涉仪，其特征在于：测量干涉仪的光程等于参考干涉仪的光程，即是说，当同为不等臂干涉仪时，从激光器[1]出发经共用反射面[4]反射到达两光电探测器的两路光的光程相等，而且从激光器出发到达两光电探测器的另两路光的光程也相等；当同为等臂干涉仪时，从激光器出发的上述的四路光的光程全相等。