[发明专利]离子镀装置无效
| 申请号： | 93104128.7 | 申请日： | 1993-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN1043671C | 公开（公告）日： | 1999-06-16 |
| 发明（设计）人： | 榎本贡;篠宫秀夫 | 申请（专利权）人： | 西铁城钟表株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种离子镀装置，包括真空容器、蒸发源、电源及用于固定被处理物的装配架，其特征在于上述装配架由用于固定上述被处理物的夹具、使该夹具转动的环形链、及通过支持部件共同载置所述链和所述夹具的台座构成，上述台座安装在固定于上述真空容器内的固定台座上，并可沿真空容器的内周面旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 离子镀 装置 | ||
【主权项】：
1．一种离子镀装置，包括真空容器、蒸发源、电源及用于固定被处理物的装配架，其特征在于：上述装配架由用于固定上述被处理物的夹具、使该夹具转动的环形链、及通过支持部件共同载置所述链和所述夹具的台座构成，上述台座安装在固定于上述真空容器内的固定台座上，并可沿真空容器的内周面旋转。
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