[实用新型]具有溅射电极的电容薄膜压力传感器

摘要

本实用新型涉及到一种具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，属于真空测量技术领域。它由两个弹性金属膜片A、A′构成参考真空室，固定电极B和B′是采用磁控溅射方法分别在陶瓷基片F，F′上沉积的金属薄膜，陶瓷基片F，F′同时构成绝缘外壳。其优点是1.被测压强由大到小(由大气向真空)变化时，电容CAB和CAB″由小变大，因而灵敏度(ΔCX/ΔP)不断提高，与测量要求相适应；2.成品率高，测量范围可达五个数量级，3.可单边也可双边使用，CAB和CAB″并联使用时，灵敏度可提高一倍，它可广泛用于真空度测量。

主权项

1、一种具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，由弹性金属膜片、陶瓷基片上的薄膜固定电极组成，陶瓷基片同时构成绝缘外壳，参考真空室抽成高真空，其特征是两个弹性金属膜片A和A′构成参考真空室，所说的薄膜固定电极是采用磁控溅射方法分别在陶瓷基片F，F′上沉积的金属薄膜B，B′，被测压强由大到小(由大气向真空)变化时，电容CAB和C″AB均由小变大。