[实用新型]具有溅射电极的电容薄膜压力传感器无效
| 申请号： | 92236628.4 | 申请日： | 1992-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN2136465Y | 公开（公告）日： | 1993-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴家庆 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 胡兰芝 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 溅射 电极 电容 薄膜 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，由弹性金属膜片、陶瓷基片上的薄膜固定电极组成，陶瓷基片同时构成绝缘外壳，参考真空室抽成高真空，其特征是两个弹性金属膜片A和A′构成参考真空室，所说的薄膜固定电极是采用磁控溅射方法分别在陶瓷基片F，F′上沉积的金属薄膜B，B′，被测压强由大到小(由大气向真空)变化时，电容CAB和C″AB均由小变大。
2、按照权利要求1所说的具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，其特征是在金属薄膜B，B’上还可有一层防止电容极间短路的溅射介质膜。
3、按照权利要求1或2所说的具有溅射电极的电容薄膜压力传感器，其特征是在陶瓷基片F和F’的G，G’处有一层溅射Ti＋Ni（或镀Ni），再由Ag－Cu焊料与金属膜片A，A’封接。
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