[实用新型]气电式尺寸在线测量头

摘要

本实用新型涉及一种气电式尺寸在线测量头，它包括与机床联接调整部分、气动测量部分和扩散硅差压传感器，它采用非接触式高压气动测量方法，传感器将测量喷嘴和工件表面形成的背压与偏移喷嘴、调零喷嘴形成的基准压力之差转换成电信号，反映工件的尺寸变化，它具有测量精度高、安装调整方便，特别适于自动化加工等优点。

主权项

1、一种气电式尺寸在线测量头，包括与机床联接调整部分、气动测量部分和传感器，其特征在于所述的气动测量部分包括基体9、主喷嘴7、8、测量喷嘴10、偏移喷嘴14、调零喷嘴13、清洗喷嘴15、16和接头，基体9固定在联接调整部分的支架6上，基体9内部加工的空气通道将各喷嘴、气源、传感器等连通，主喷嘴8入口与测量气源接头连通，其出口分别与测量喷嘴10入口和传感器11的输入端连通，主喷嘴7入口与测量气源接头连通，其出口分别与偏移喷嘴14入口和传感器11的另一输入端连通，偏移喷嘴14出口接调零喷嘴13的入口，与清洗气源连通的两个清洗喷嘴15和16分别位于测量喷嘴10两旁，主喷嘴7和8到传感器11的空气通道对称设置，主喷嘴7和8到测量喷嘴10和偏移喷嘴14的空气通道也对称设置，所述的传感器是扩散硅差压传感器。