[实用新型]标尺光栅精度检测仪无效
| 申请号： | 91214207.3 | 申请日： | 1991-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN2084604U | 公开（公告）日： | 1991-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王集交;李永德;郝永杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种标尺光栅精度检测仪，涉及光栅数显技术领域，其特征在于采用两根具有相同栅距的标尺光栅面-面对置组合成对，通过光电探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动，测量其莫尔条纹图象的光强变化，经数字显示仪输出数据，再经数据处理得到每根标尺光栅的刻线误差。本实用新型具有测量精度高、其测量准确度不受被测标尺光栅精度的限制，重复性好、成本低、实用性强、便于操作使用等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 标尺 光栅 精度 检测 | ||
【主权项】：
1、一种包括光电探测器和数字显示仪的标尺光栅精度检测仪，其特征在于两根具有相同栅距的标尺光栅面一面对置组合成对，光电探测器中的发光和接收元件对应分跨在标尺光栅对的两侧，通过探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动测量其莫尔条纹图象的光强变化，数字显示仪显示输出，经数据处理得出每标根尺光栅的刻线误差。
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