[实用新型]标尺光栅精度检测仪无效
| 申请号： | 91214207.3 | 申请日： | 1991-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN2084604U | 公开（公告）日： | 1991-09-11 |
| 发明（设计）人： | 王集交;李永德;郝永杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标尺 光栅 精度 检测 | ||
【权利要求书】：
1、一种包括光电探测器和数字显示仪的标尺光栅精度检测仪，其特征在于两根具有相同栅距的标尺光栅面一面对置组合成对，光电探测器中的发光和接收元件对应分跨在标尺光栅对的两侧，通过探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动测量其莫尔条纹图象的光强变化，数字显示仪显示输出，经数据处理得出每标根尺光栅的刻线误差。
2、如权利要求1所述的标尺光栅精度检测仪，其特征在于由三根标尺光栅组成被测单元，分别两两对置组合三次，由光电探测器测出三组莫尔条纹图象的光强变化、数字显示仪显示输出三组数据。
3、如权利要求1所述的标尺光栅精度检测仪，其特征在于由已知误差分布的标尺光栅与被测标尺光栅对置组合一次，给光电探测器测出其莫尔条纹图象的光强变化，数字显示仪显示输出数据。
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