[发明专利]透明材料无损检测的光散射层析术及其装置

摘要

适于材料科学和光电子学领域的透明材料无损检测的光散射层析术(简称LST法)及其装置，用高亮度的激光束(如调Q-YAG的SHG激光束)作入射光源，利用Tyndall现象，为透明材料的无损检测提供更高精度更为方便而适用的观察方法和检测技术。本技术对被测样品是无损的，并且被测样品的尺寸不受限制，制样也非常简单，同时，它能提供缺陷的三维分布的直接形貌图。

主权项

1、一种透明材料无损检测的光散射层析装置，是由光源(1)、短焦距透镜(2)、样品(3)、样品台(4)、显微系统(5)、摄影装置(6)、自动扫描驱动机构(7)和移动台(8)所组成，其特征在于：用高亮度的激光束作为光散射层析术的光源(1)，短焦距透镜(2)使来自光源(1)的激光束的光斑变得更细更亮，样品台(4)用于放置样品(3)，显微系统(5)用于观察被测区域的微小缺陷，摄影装置(6)用于对感兴趣的信息进行拍摄，自动扫描驱动机构(7)可使样品台(4)、显微系统(5)、摄影装置(6)相对于光源(1)发出的激光束进行X或Y方向的高精度自动扫描，显微系统(5)的机械筒长可根据不同的摄影镜头进行调节以便得到最佳的成像质量，移动台(8)件为X、Y、Z三个方向的精密移动台。