[发明专利]透明材料无损检测的光散射层析术及其装置

权利要求书

1、一种透明材料无损检测的光散射层析装置，是由光源(1)、短焦距透镜(2)、样品(3)、样品台(4)、显微系统(5)、摄影装置(6)、自动扫描驱动机构(7)和移动台(8)所组成，其特征在于：用高亮度的激光束作为光散射层析术的光源(1)，短焦距透镜(2)使来自光源(1)的激光束的光斑变得更细更亮，样品台(4)用于放置样品(3)，显微系统(5)用于观察被测区域的微小缺陷，摄影装置(6)用于对感兴趣的信息进行拍摄，自动扫描驱动机构(7)可使样品台(4)、显微系统(5)、摄影装置(6)相对于光源(1)发出的激光束进行X或Y方向的高精度自动扫描，显微系统(5)的机械筒长可根据不同的摄影镜头进行调节以便得到最佳的成像质量，移动台(8)件为X、Y、Z三个方向的精密移动台。

2、一种透明材料无损检测的光散射层析术，其特征在于：通过以下步骤实现对透明材料的无损检测的目的—

A、使光源(1)发出的激光束通过短焦距镜头(2)后亮度进一步提高，光束变得更细，这是检测透明材料中细小缺陷的前提；

B、从短焦距镜头(2)出来的激光束入射到样品(3)时，如样品(3)在被观察的微小区域是完整无缺的，那么在用显微系统(5)观察或用摄影装置(6)所拍摄的照片上是看不到散射光的，如果在该区域存在如空孔、位错等缺陷时，则能看见来自缺陷的散射光；

C、放置在样品台(4)上的样品(3)以及显微系统(5)、摄影装置(6)通过自动扫描驱动机构(7)和移动台(8)能相对于光源(1)发出的激光束进行X、Y、Z和夹角θ的四维调节及自动扫描，从而实现断层(逐层)扫描观察和得到缺陷的三维分布形貌图。