[实用新型]直立多片挤压式液相外延石墨舟无效
| 申请号： | 90223211.8 | 申请日： | 1990-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN2080070U | 公开（公告）日： | 1991-07-03 |
| 发明（设计）人： | 何胜夫;罗宗铁;董萍;魏文超;李向文;赵宇 | 申请（专利权）人： | 中科院长春物理研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 宋天平 |
| 地址： | 130021*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种直立多片挤压式液相外延石墨舟。采用衬底直立方式，可同时生长10片以上芯片。源液槽带有过滤板和压块，能有效地除去源液中的氧化膜。该石墨舟的特点在于芯片产量高，外延层的厚度均匀，表面平整光亮，成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 直立 挤压 式液相 外延 石墨 | ||
【主权项】：
1、一种液相外延石墨舟，其特征是源液槽2，生长室1和废液槽8三部分均置于石墨外罩箱10中。
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