[发明专利]能在半水溶液中显影的光反应性树脂组合物无效
| 申请号： | 90108684.3 | 申请日： | 1990-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1050935A | 公开（公告）日： | 1991-04-24 |
| 发明（设计）人： | 阿伦·E·纳德;迈克尔·T·波廷杰 | 申请（专利权）人： | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 黄家伟 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是涉及光敏聚合物的组合物，这种组合物可以用碱性水溶液显影液显影。光敏聚合物的组合物可用于在电子元件上形成凸纹结构。 | ||
| 搜索关键词： | 水溶液 显影 光反应 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、一种能在含有至少约1%(重量)水的显影熔液中显影的光照可聚合组合物包括：(a)约5-75%重量的(相对于组合物重量)部分酯化的芳香族聚酰胺酸树脂，其中酯基含有光反应性组分，(b)约95-25%重量的(相对于组合物重量)能溶解该组合物的溶剂或溶剂混合物，(c)0.01-20%相对于树脂重量的光聚合引发剂或光聚合引发剂的混和物，(d)增粘剂；条件是该组合物不只包括(a)苯酮四羰基二酸酐与羟乙基甲基丙烯酸酯酯化并与4，4′-氧联苯胺和1，3-苯二胺反应所得聚合物的聚酰胺酸性树脂，(b)4-丁内酯/丙酮，(c)双(2-O-氯苯-4，5-二苯基)咪唑和(d)N-(3-(三乙氧甲硅)丙基)丁烯二酰胺酸。
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