[发明专利]能在半水溶液中显影的光反应性树脂组合物

权利要求书

1、一种能在含有至少约1%(重量)水的显影熔液中显影的光照可聚合组合物包括：

(a)约5-75%重量的(相对于组合物重量)部分酯化的芳香族聚酰胺酸树脂，其中酯基含有光反应性组分，

(b)约95-25%重量的(相对于组合物重量)能溶解该组合物的溶剂或溶剂混合物，

(c)0.01-20%相对于树脂重量的光聚合引发剂或光聚合引发剂的混和物，

(d)增粘剂；

条件是该组合物不只包括(a)苯酮四羰基二酸酐与羟乙基甲基丙烯酸酯酯化并与4，4′-氧联苯胺和1，3-苯二胺反应所得聚合物的聚酰胺酸性树脂，(b)4-丁内酯/丙酮，(c)双(2-O-氯苯-4，5-二苯基)咪唑和(d)N-(3-(三乙氧甲硅)丙基)丁烯二酰胺酸。

2、权利要求1的组合物中，部分酯化的芳香族聚酰胺酸性树脂包括结构式：

其中→表示同分异构体，每个R是一个芳香基，每个R1是一个脂肪族、芳香族或环脂族基团，每个R₂分别选自氢基、含有可光聚合烯属双键的有机基类，约5-80%的R₂取代基为氢基，n是正整数且足够大，使树脂具有平均分子量为约1，000至75，000。

3、权利要求2的组合物中，增粘剂选自多官能团的烷基硅烷化合物，多官能团的烷基硅烷化合物与水的反应产物及其混合物一类物质。

4、权利要求3的组合物中，增粘剂选自（3-（三乙氧基甲硅）丙基）脲、（3-（三乙氧基甲硅）丙基）脲与水的反应产物一类物质。

5、权利要求2的组合物中，每个R₂分别选自羟基C1-8烷基甲基丙烯酸酯，羟基C1-8烷基丙烯酸酯和氢一类物质。

6、权利要求5的组合物中，每个R选自苯基、苯酮和联苯基一类基团

7、权利要求6的组合物中，每个R₁选自苯氧苯基和亚苯基一类基团。

8、权利要求7的组合物中，增粘剂选自多官能团烷氧基硅烷化合物、多官能团烷氧基硅烷化合物和水的反应产物及其混合物一类物质。

9、权利要求8的组合物中，增粘剂选自（3-（三乙氧基甲硅）丙基）脲和（3-（三乙氧基甲硅）丙基）脲和水的反应产物一类物质。

10、权利要求9的组合物还包括10-50%重量（相对于树脂重量）的光照可聚合多宫能团丙烯酸酯化合物或多官能团丙烯酸酯化合物的混合物一类物质。

11、一种在片基上形成聚酰亚胺凸纹图案的方法，包括以下步骤：

在片基上涂上光照可聚合组合物，该组合物包括：

（a）约5-75%重量的（相对于组合物的重量）部分酯化的芳香族聚酰胺酸性树脂，其中酯基含有光反应性组分，

（b）约95-25%重量的（相对于组合物的重量）能溶解该组合物的溶剂或溶剂混合物，

（c）0.01-20%相对于树脂重量的光聚合引发剂或光聚合引发剂的混合物;

通过图形将组合物曝光;将光照后的组合物置于含有至少约1%重量水的显影溶液中，除去组合物未曝光的部分;将所得凸纹图案处理，使聚酰胺酸性树脂转化为聚酰亚胺。

12、权利要求11的方法中，部分酯化的芳香族的聚酰胺酸性：

其中→表示同分异构体;每个R是一个芳香基，每个R₁是一个脂肪族、芳香族或环脂族基团，每个R₂分别选自氢基、含有可光聚合烯属双键的有机基类，约5-80%的R₂取代基为氢基，n是正整数且足够大，使树脂具有平均分子量为约1，000至75，000。

13、权利要求12的方法中，每个R₂分别选自羟基C1-8烷基甲基丙烯酸酯、羟基C1-8烷基丙烯酸酯和氢一类物质。

14、权利要求13的方法中，每个R选自苯基、苯酮和联苯基一类物质。

15、权利要求14的方法中，每个R₁选自苯氧苯基和亚苯基一类基团。