[发明专利]静电驱动双接动梁式力传感器无效
| 申请号： | 90101021.9 | 申请日： | 1990-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1054485A | 公开（公告）日： | 1991-09-11 |
| 发明（设计）人： | 格拉姆·A·布莱克;布赖恩·L·诺林 | 申请（专利权）人： | 标准数据控制公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 陆立英 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有静电驱动系统的双振动梁式的力传感器，它包括一个本体12，该本体包括基本上平行的第一和第二梁20、22，它们的端部是连在一起的，第一和第二电极14、16，相邻于但都不与各自的梁接触；驱动电路18，它产生振荡电压施加到电极上。梁经受静电力使梁在包含两梁的一个振动平面内产生振荡。梁的机械谐振控制谐振频率，该频率里沿梁施加的力的函数。在所述的一个实施例中，驱动装置还可以直接连接到一个梁上。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 双接动梁式力 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种振动梁式力传感器，它包括：一个本体(12、60、100)，该本体包括基本上平行的第一和第二梁(20、22；70、72；102、104)，两梁端部连在一起，其特征在于：它还包括第一和第二电极(14、16；62、64；131～134)，被置位于分别与第一和第二梁相邻但不接触；驱动装置(18)在电气上与电极连接，以使振荡电压施加到电极上，使该梁经受静电力，导致梁在包含两梁的一个振动平面内产生相互反相180°的振荡，使所述的振荡电压的频率是沿梁在长度上施加的力的函数。
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