[发明专利]静电驱动双接动梁式力传感器

权利要求书

1、一种振动梁式力传感器，它包括：一个本体(12、60、100)，该本体包括基本上平行的第一和第二梁(20、22；70、72；102、104)，两梁端部连在一起，其特征在于：它还包括第一和第二电极(14、16；62、64；131～134)，被置位于分别与第一和第二梁相邻但不接触；驱动装置(18)在电气上与电极连接，以使振荡电压施加到电极上，使该梁经受静电力，导致梁在包含两梁的一个振动平面内产生相互反相180°的振荡，使所述的振荡电压的频率是沿梁在长度上施加的力的函数。

2、根据权利要求1所述的振动梁式力传感器;其中，电极放在所述的振动平面内。

3、根据权利要求2所述的振动梁式力传感器，其中，每个电极放置在它所相关的梁离开另一梁的对侧。

4、根据权利要求1所述的振动梁式力传感器，其中，每个电极包括上部电极（131、132）部分和下部电极（133、134）部分，这两部分放置在相关梁的相对侧并在垂直于振动平面的方向上，两个电极部分放置得使该梁的中心不在这两个电极部分之间的中心线上，这样，在电极的两部分上施加电压时，该梁会被吸引向这两电极部分之间的中心线位置上。

5、根据权利要求1所述的振动梁式力传感器，其中，所述的振荡电压包括稳态成分，借此，振荡电压的所述频率与该梁的振荡频率相同。

6、用于测量施加在第一和第二电极（166、168）之间的力的一种振动梁式力传感器，包括：第一和第二本体（140、142），每个本体包括：伸展在第一和第二端部（152、154;162、164）上的一个梁（150、160），两本体放置得使每个本体都具有连接到每个结构的一个端部，并且这两个梁相互平行和相邻但不接触，该传感器还包括用以向一个梁施加周期性电压的装置（144），由此在两梁之间产生一周期性的静电力，驱动两个梁谐振，其谐振频率是由结构沿梁施加的轴向力的函数。