[发明专利]电磁驱动的振片式力转换器

摘要

一种振片式力转换器，它可在如微型加速计等硅微型机械仪表中实现，包括带有纵轴的振片，和与振片电连接并使振片以纵轴方向施加的外力所决定的共振频率振荡的驱动电路；该电路向振片提供电流，振片或其上的导电区域沿包含一与纵轴平等的轴向元件的通路导通电流，磁场与轴向元件相交，电流与磁场相互作用，使振片以共振频率振荡。在一较佳实施例中，转换器具有一双端音叉结构，电流通路沿一振片延伸又沿另一振片返回。

主权项

1、在由具有纵向轴(16，188)的振片(10，52，54，92，94，122，124，152，154，162，182)和与该振片电连接、用以引起振片以纵轴方向外力决定的共振频率振荡的驱动电路所构成的这类振片式力转换器中，其改进在于驱动装置向振片提供电流，还在于该转换器包括与振片物理地相连接、用于接收电流并沿电流通路(该通路包括一个与纵轴平行的轴向元件)传导电流的导电装置(18、60、92、94、122、124、156、170、196)，和产生与所述轴向元件相交的磁场的磁装置(20、22、80、82、232)，在此，沿所述电流通路流动的电流与磁场相互作用，在振片上产生一个能使振片以所述的共振频率振荡的力。