[发明专利]电磁驱动的振片式力转换器

权利要求书

1、在由具有纵向轴(16，188)的振片(10，52，54，92，94，122，124，152，154，162，182)和与该振片电连接、用以引起振片以纵轴方向外力决定的共振频率振荡的驱动电路所构成的这类振片式力转换器中，其改进在于驱动装置向振片提供电流，还在于该转换器包括与振片物理地相连接、用于接收电流并沿电流通路(该通路包括一个与纵轴平行的轴向元件)传导电流的导电装置(18、60、92、94、122、124、156、170、196)，和产生与所述轴向元件相交的磁场的磁装置(20、22、80、82、232)，在此，沿所述电流通路流动的电流与磁场相互作用，在振片上产生一个能使振片以所述的共振频率振荡的力。

2、根据权利要求1的改进，其中转换器拥有第一和第二两个振片，这两个振片分别具有彼此平行的第一和第二纵向轴;驱动装置向振片提供电流;以及电流通路包括与第一和第二纵轴平行的第一和第二轴向元件。

3、根据权利要求2的改进，其中第一轴向元件在方向上面对第二轴向元件。

4、根据权利要求3的改进，其中磁场与包含两个振片的平面正交，振片沿相互靠拢、分离的方向振荡，相位差为180°。

5、根据权利要求3的改进，其中磁场位于包含两个振片的平面内，振片沿越出所述平面的方向振荡。

6、根据权利要求1的改进，其中振片由非导体硅构成，而导电装置由在硅材料中形成一个导电区域而制成。

7、根据权利要求1的改进，其中振片（92、94、122、124）由一个导电的、以硅为基体的材料构成，振片以此形成导电装置。

8、根据权利要求1的改进，其中电流通路包括在平行于纵轴的第一纵向上延伸、并在与该纵轴垂直的第一横向上与该纵轴拉大间隔的第一轴向元件，和在平行于纵轴的第二纵向上延伸、并在与第一横向平行的第二横向上与该纵轴拉大间隔的第二轴向元件，第一和第二纵向是相互面对面的，第一和第二横向也是相互面对面的，从而沿这条电流通路流动的电流与磁场相互作用，在振片上产生一个转矩使振片以所述共振频率扭转式振荡。