[实用新型]多弧型离子镀膜机无效
| 申请号： | 89200748.6 | 申请日： | 1989-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN2043244U | 公开（公告）日： | 1989-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒 | 申请（专利权）人： | 北京长城钛金技术联合开发公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多弧型离子镀膜机，其镀膜室为筒式结构，室壁与镀膜室底焊接，镀膜室立于镀膜室底座上，镀膜室底上的法兰盘上装有加热器，镀膜室的顶部有带有转动架和工件架的上盖，室壁上开有门，蒸发离化源均布在室壁四周，真空排气系统与镀膜室并排相连。这种镀膜机的高度可大大降低，无需大型特殊厂房，还可制成大型镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 多弧型 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种由镀膜室(1)、镀膜室底座(2)、转动架(3)、工件架(4)、蒸发离化源(5)、真空排气系统(6)组成的多弧型离子镀膜机，其特征在于：镀膜室(1)为筒式结构，镀膜室(1)的室壁(7)与镀膜室底(8)焊接，镀膜室(1)立于镀膜室底座(2)上，镀膜室底(8)上装有法兰盘(9)，加热器(10)焊在法兰盘(9)上且密封于镀膜室底(8)上，镀膜室(1)顶部有上盖(11)，上盖(11)上装有转动架(3)和工件架(4)，镀膜室(1)室壁(7)的侧面上开门(12)，镀膜室(1)四周均布装有数个蒸发离化源(5)，真空排气系统(6)与镀膜室(1)并排相连。
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