[实用新型]多弧型离子镀膜机

说明书

本实用新型是在真空条件下进行镀制钛金的成膜技术，工具、模具、刀具表面上镀复超硬薄膜提高其性能，可代替黄金、白银在各种建筑五金、钟表首饰、工艺美术、钢木家具、卫生洁具、制笔、餐具等物品上镀制仿金膜，属于真空等离子体表面沉积技术。

目前，现有技术中的离子镀膜机为一种钟罩式，镀膜室取钟罩形，转动架和工件架装在镀膜室底座上，镀膜室底座内装真空系统，因此，这种钟罩式镀膜机的高度很大，工件装卸    时需用升降机把镀膜室整个升起来才能进行工件的装、卸工作，给工作带来很大不便，且需要特殊设计的大型厂房，因而不宜制成大型机。

为了克服上述缺点，本实用新型的镀膜室采用筒式侧开门结构，顶上装有上盖，上盖上装有转动架和工件架，工件可根据需要直接开盖或开门进行装、卸，装、卸起来很方便，且真空排气系统与镀膜室排相连，大大降低了镀膜机的高度，无需大型特殊厂房，可制成大型镀膜机。

这种多弧型离子镀膜机由镀膜室（1）、镀膜室底座（2）、转动架（3）、工件架（4）、蒸发离化源（5）、真空排气系统（6）组成，镀膜室（1）为筒式结构，镀膜式（1）的室壁（7）与镀膜室底（8）焊接，镀膜室（1）立于镀膜室底座（2）上，镀膜室底（8）上装有法兰盘（9），加热器（10）焊在法兰盘（9）上且密封于镀膜室底（8）上，镀膜室（1）顶部有上盖（11），上盖（11）上装有转动架（3）和工件架（4），镀膜室（1）室壁（7）的侧面上开门（12），镀膜室（1）四周均布装有数个蒸发离化源（5），真空排气系统（6）与镀膜室（1）排相连。镀膜室（1）四周均布装有的数个蒸发离化源（5）可按螺旋线（13）分布，这样得到更佳的镀膜效果。镀膜室（1）的门上还开有观察窗口（14），上盖上装有电机（15）减速箱（16），电机通过上盖上的密封轴（17）带动工件架来实现自公转，工件架与转动架靠卡口方式连结，装卸方便，转动架可随上盖一起吊出镀膜室外，架放在装载支架上，同时将另一上盖架到镀膜室上，以此实现连续作业。多弧型离子镀膜机带有操作板，操作板上装有总电源开关及机械泵（18），扩散泵（19），转动架、加热器、轰偏电源和蒸发离化源电源按钮。工作时，将工件装入镀膜室后，将镀膜室壁上的门或上盖关好，用密封条实现密封，启动电机带动工件转动正常后，再抽至高真空依次启动加热器电源，轰偏电源和蒸发离化源电源，开始进行镀膜。

附图1、2、3为最佳实施例简图。

附图1为多弧型离子镀膜机主视图。

附图2为多弧型离子镀膜机俯视图。

附图3为多弧型离子镀膜机侧视图。

图中主要结构为：镀膜室（1），镀膜室底座（2）、转动架（3），工件架（4），蒸发离化源（5），真空排气系统（6），室壁（7），镀膜室底（8），法兰盘（9），加热器（10），上盖（11），门（12），螺旋线（13），观察窗口（14），电机（15），减速箱（16），密封轴（17），机械泵（18），扩散泵（19），吊环（20），轰偏电源输入插头（21），中真空规管（22），高伐（23），排气管道（24），蒸发离化源安装孔（25）。