[发明专利]移动式电子扫描显微镜无效
| 申请号： | 88108716.5 | 申请日： | 1988-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1035583A | 公开（公告）日： | 1989-09-13 |
| 发明（设计）人： | 约瑟夫·梅尔基斯;卢博米尔·图马;雅罗斯拉夫·克林马;埃米尔·布拉特尼切克日里·彼得 | 申请（专利权）人： | 特斯拉公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 吴增勇,董江雄 |
| 地址： | 捷克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种移动式电子扫描显微镜，其样品室5位于其基座中部并带有可视开口6，此开口的尺寸大于该开口平面内的最大点域摆动。样品室真空密闭又可横动地置于一基板上，在此基板中部有一与可视开口相通的通孔，而在此基板的底面还有一环绕上述通孔的第一密封垫3。本发明可较佳地用于较大表面的非破坏性表面分析中，例如对飞机机翼，导弹部件和其它大型零件疲劳现象的探查。 | ||
| 搜索关键词： | 移动式 电子扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
1、一种台式电子扫描显微镜，其特征在于所述显微镜的样品室5带有一可视开口6，此开口位于其基座的中部，可视开口6的尺寸大于该可视开口6平面内的最大点域摆动，所述样品室真空密闭且可横动地置于基板2上，该基板的中部有一与可视开口6同轴的通孔4，在该基板2的底面还有第一密封垫3用于对应所要检验的表面予以密封且环绕所述通孔4。
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