[发明专利]移动式电子扫描显微镜无效

专利信息
申请号: 88108716.5 申请日: 1988-12-17
公开(公告)号: CN1035583A 公开(公告)日: 1989-09-13
发明(设计)人: 约瑟夫·梅尔基斯;卢博米尔·图马;雅罗斯拉夫·克林马;埃米尔·布拉特尼切克日里·彼得 申请(专利权)人: 特斯拉公司
主分类号: H01J37/02 分类号: H01J37/02;H01J37/20
代理公司: 中国专利代理有限公司 代理人: 吴增勇,董江雄
地址: 捷克*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 移动式 电子扫描 显微镜
【权利要求书】:

1、一种台式电子扫描显微镜,其特征在于所述显微镜的样品室5带有一可视开口6,此开口位于其基座的中部,可视开口6的尺寸大于该可视开口6平面内的最大点域摆动,所述样品室真空密闭且可横动地置于基板2上,该基板的中部有一与可视开口6同轴的通孔4,在该基板2的底面还有第一密封垫3用于对应所要检验的表面予以密封且环绕所述通孔4。

2、根据权利要求1的移动式电子扫描显微镜,其特征在于所述基板2带有调节细钉9,该螺钉顶压在所要检验的表面上。

3、根据权利要求1或2的移动式电子扫描显微镜,其特征在于样品室5带有位移螺钉10,可使样品室相对于基板2移动。

4、根据权利要求1至3任一所述移动式电子扫描显微镜,其特征在于所述显微镜带有一组基板2,每一基板2的底面和第一密封垫3的尺寸和形状适于同所要检验的各不同类型的表面1配合。

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