[发明专利]移动式电子扫描显微镜无效
| 申请号: | 88108716.5 | 申请日: | 1988-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN1035583A | 公开(公告)日: | 1989-09-13 |
| 发明(设计)人: | 约瑟夫·梅尔基斯;卢博米尔·图马;雅罗斯拉夫·克林马;埃米尔·布拉特尼切克日里·彼得 | 申请(专利权)人: | 特斯拉公司 |
| 主分类号: | H01J37/02 | 分类号: | H01J37/02;H01J37/20 |
| 代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 吴增勇,董江雄 |
| 地址: | 捷克*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 移动式 电子扫描 显微镜 | ||
1、一种台式电子扫描显微镜,其特征在于所述显微镜的样品室5带有一可视开口6,此开口位于其基座的中部,可视开口6的尺寸大于该可视开口6平面内的最大点域摆动,所述样品室真空密闭且可横动地置于基板2上,该基板的中部有一与可视开口6同轴的通孔4,在该基板2的底面还有第一密封垫3用于对应所要检验的表面予以密封且环绕所述通孔4。
2、根据权利要求1的移动式电子扫描显微镜,其特征在于所述基板2带有调节细钉9,该螺钉顶压在所要检验的表面上。
3、根据权利要求1或2的移动式电子扫描显微镜,其特征在于样品室5带有位移螺钉10,可使样品室相对于基板2移动。
4、根据权利要求1至3任一所述移动式电子扫描显微镜,其特征在于所述显微镜带有一组基板2,每一基板2的底面和第一密封垫3的尺寸和形状适于同所要检验的各不同类型的表面1配合。
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