[其他]电容型测位传感器

摘要

利用卡尺或类似量具中可相对位移的第一和第二标尺之间的电容耦合测量该二标尺间的相对位移量的传感器。在第一标尺上装有包括一组电极的发送电极，各电极被供有各不同相位的交流信号。在第二标尺上靠近上述各发送电极处装有各接收电极，于是在该两组电极之间就会出现取决于该两种标尺间的相对位移位置的不同电容值。接收电极包括若干以相等节距隔开的诸电极，该节距可通过将发送电极的发送波长节距除以某一预定整数而求得。从而就可得到一种等于接收电极节距的上述发电极组内的发送电极数目分之一的测量精度。

主权项

1、一种用于测量位置的电容型传感器，特征在于：它拥有被互相邻接、定位成使之可进行彼此相对位移的第一标尺和第二标尺；两种标尺中的任一标尺不是备有发送电极就是备有接收电极；这两种电极都由沿着各标尺相互位移的方向而定位的各电极组组成，并且是互相电容耦合的；上述发送电极组成一组发送电极，在这些电极上供有若干不同相位的交流信号；上述接收电极由若干以相等节距隔开的电极组成，在该节距中上述发送电极组的发送波长节距可被一个预定整数所除尽；以及其刻度精度可达上述接收电极节距内的上述发送电极组的发送电极数分之一。