[其他]电容型测位传感器

权利要求书

1、一种用于测量位置的电容型传感器，特征在于：它拥有被互相邻接、定位成使之可进行彼此相对位移的第一标尺和第二标尺；

两种标尺中的任一标尺不是备有发送电极就是备有接收电极；这两种电极都由沿着各标尺相互位移的方向而定位的各电极组组成，并且是互相电容耦合的；

上述发送电极组成一组发送电极，在这些电极上供有若干不同相位的交流信号；

上述接收电极由若干以相等节距隔开的电极组成，在该节距中上述发送电极组的发送波长节距可被一个预定整数所除尽；以及

其刻度精度可达上述接收电极节距内的上述发送电极组的发送电极数分之一。

2、如权利要求1所描述的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：其接收电极是由若干以相等节距隔开的电极组成，就该节距来说，上述发送电极组的发送电极节距可被一个小于该发送电极组内的发送电极数的整数所除尽。

3、如权利要求1或2的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：诸发送电极有一个不相等的节距。

4、如权利要求1所描述的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：其供到各发送电极的交流信号相位顺序可决定如下：即当接收电极节距被发送电极数所标度时，则每个发送电极就被供有相当于上述接收电极节距被标度的位置上的相位顺序的交流信号。

5、一种用于测量位置的电容型传感器，特征在于：它拥有被互相邻接地定位成使之可互相进行相对位移的第一标尺和第二标尺;

第一标尺配备有：由一组排列在相对位移方向上的诸电极组成的第一发送电极和一种与这些第一发送电极平行而电绝缘的第一接收电极;

上述第二标尺配备有：由一组排列在相对位移方向上以便与上述各第一发送电极进行电容耦合的诸电极组成的第二接收电极，和由一组排列在相对位移方向上以便与上述第一接收电极进行电容耦合的诸电极组成的第二发送电极;

上述诸第二接收电极和第二发送电极的，相应电极均由各耦合电极进行电气连接;

上述诸第一发送电极各被供有不同相位的交流信号;

上述诸第二接收电极由若干以相等节距隔开的电极组成，在该节距中上述第一发送电极组的发送波长节距Wt1被某一预定整数分度;

以及将供到上述诸第一发送电极的各不同相位的交流信号发送到第二标尺侧，同时仍保留关于在诸第一发送电极和诸第二接收电极之间所存在的电容值的数据，然后通过各耦合电极将这些信号传导到第二标尺的诸第二发送电极，然后通过诸第二发送电极和第一接收电极间的电容耦合将这些信号返回到第一标尺侧，于是就可以上述接收电极节距的上述发送电极组的发送电极数分之一的标度精度测量相对位移量。

6、权利要求5所描述的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：其第二接收电极由若干以相等节距隔开的电极组成在该节距中，上述第一发送电极组的发送电极节距被一个小于第一发送电极组内的第一发送电极数的整数所刻度。

7、权利要求5或6的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：其第一发送电极拥有一种不等地隔开的节距。

8、权利要求5中所描述的用于测量位置的电容型传感器，特征在于：其中，加到各第一发送电极的交流信号的相序被决定如下：即当第二接收电极节距是由第一发送电极数分割时，拥有相应于上述第二接收电极节距被分割后的各位置的顺序相位的交流信号被供到每个第一发送电极。

9、权利要求5中所描述的测量位置的电容型传感器，特征在于：其中，第一标尺和第二标尺都可用作卡尺的主（固定）标尺或游标标尺或反之。