[其他]一种空心阴极放电离子镀刀具装置无效
| 申请号： | 86209747 | 申请日： | 1986-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN86209747U | 公开（公告）日： | 1987-10-07 |
| 发明（设计）人： | 庄谨;解正国;石铭德;胡立芳;胡久大 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 张志东 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型是利用空心阴极放电技术在高速钢刀具表面沉积涂层，采用离子镀枪与坩埚成倾斜度布置、坩埚变聚束线圈在真空室外的布置及框架式三轴自转结构的工作转动夹具，结构新颖、布置合理。采用本装置对刀具镀氮化钛涂层均匀呈黄金色，性能稳定工作可靠，涂覆的镀层致密，膜厚2～4μm，耐磨，刀具寿命可提高1～4倍。该装置成本远远低于日本同类型的IPB-30型和美国的多弧设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 放电 离子镀 刀具 装置 | ||
【主权项】：
1、一种离子镀刀具装置，由真空镀膜室以及和它联系的真空系统，充气系统，水冷系统，电控系统和装卸料车组成，其真空镀膜室又由空心阴极离子镀枪，水冷铜坩埚，工件转动夹具，烘烤加热炉，轰击溅射电极及隔热屏蔽板组成其特征在于：a.空心阴极枪与坩埚成60°～80°方位布置，b.坩埚聚焦线圈置于真空室外，c.工件转动夹具采用整体可拆卸框架式三轴自转结构。
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