[其他]一种空心阴极放电离子镀刀具装置无效
| 申请号： | 86209747 | 申请日： | 1986-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN86209747U | 公开（公告）日： | 1987-10-07 |
| 发明（设计）人： | 庄谨;解正国;石铭德;胡立芳;胡久大 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 张志东 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空心 阴极 放电 离子镀 刀具 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种离子镀刀具装置，由真空镀膜室以及和它联系的真空系统，充气系统，水冷系统，电控系统和装卸料车组成，其真空镀膜室又由空心阴极离子镀枪，水冷铜坩埚，工件转动夹具，烘烤加热炉，轰击溅射电极及隔热屏蔽板组成其特征在于：
a.空心阴极枪与坩埚成60°～80°方位布置，
b.坩埚聚焦线圈置于真空室外，
c.工件转动夹具采用整体可拆卸框架式三轴自转结构。
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