[实用新型]一种硅片烘干炉的硅片传送装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片烘干炉的硅片传送装置，涉及硅片传送技术领域。本实用新型包括架体以及两个转动安装在所述架体上的传动辊，两个所述传动辊之间同步连接有输送带，所述架体上安装有驱动其中一个传动辊转动的电机，还包括多个连接块，多个所述连接块一面通过柔性垫与所述输送带外周面粘接，所述连接块的其中一侧面上通过转杆转动安装有转动架。本实用新型通过夹持件安装在转动架上，输送带持续运输的过程中，通过驱动组件使得多个转动架转动，从而使得硅片位于硅片烘干机内时，硅片的表面可以充分进行烘干，从而提高了烘干效率，减少了烘干所需要的时间，因此更具有实用性。