[实用新型]一种硅片烘干炉的硅片传送装置

权利要求书

1.一种硅片烘干炉的硅片传送装置，包括架体(1)以及两个转动安装在所述架体(1)上的传动辊(2)，两个所述传动辊(2)之间同步连接有输送带(3)，所述架体(1)上安装有驱动其中一个传动辊(2)转动的电机，其特征在于，还包括多个连接块(4)，多个所述连接块(4)一面通过柔性垫与所述输送带(3)外周面粘接，所述连接块(4)的其中一侧面上通过转杆(5)转动安装有转动架(6)，所述转动架(6)上安装有用于夹持硅片的夹持件(7)，所述架体(1)上安装有驱动所述转杆(5)转动的驱动组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述驱动组件(8)包括转动安装在所述连接块(4)上的转轴(801)，所述架体(1)上安装有作用于所述转轴(801)的连动组件(802)，当所述转轴(801)沿所述输送带(3)长度方向移动时，通过所述连动组件(802)以使所述转轴(801)转动，所述转轴(801)与所述转杆(5)上均安装有锥齿轮(803)，两个所述锥齿轮(803)相互啮合。

3.根据权利要求2所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述连动组件(802)包括套装在所述架体(1)上的皮带(8021)，所述皮带(8021)呈环形且位于所述输送带(3)的一侧，所述皮带(8021)外周侧为带齿，所述转轴(801)的端部安装有与所述带齿啮合的驱动齿轮(8022)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述夹持件(7)包括对称滑动安装在所述转动架(6)上的两个夹持板(701)，两个所述夹持板(701)之间安装有抵触弹簧(702)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述转动架(6)上安装有导向杆(9)，所述抵触弹簧(702)套设在所述导向杆(9)上，所述夹持板(701)滑动套设在所述导向杆(9)上。

6.根据权利要求5所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述夹持板(701)上铰接有铰接杆(10)，对应两个所述铰接杆(10)之间铰接有传动杆(11)，所述传动杆(11)一侧中部通过轴杆转动安装在所述转动架(6)上。

7.根据权利要求4所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述连接块(4)上相对的两个所述夹持板(701)之间开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)内安装有橡胶垫(13)，对应两个所述橡胶垫(13)相对侧均呈凹陷状。

8.根据权利要求2所述的一种硅片烘干炉的硅片传送装置，其特征在于，所述架体(1)上开设有呈环形的引导槽(14)，所述转轴(801)端部位于所述引导槽(14)内且外周侧与引导槽(14)内周侧相切。