[实用新型]BiMOS半导体装置有效
| 申请号: | 202320656480.1 | 申请日: | 2023-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN219610441U | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
| 发明(设计)人: | 中村研贵;米田真也;塚田能成;小堀俊光;根来佑树;前田康宏 | 申请(专利权)人: | 本田技研工业株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739;H01L29/78 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明;黄健 |
| 地址: | 日本东京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种BiMOS半导体装置,包括连续配置的数个BiMOS半导体,每个BiMOS半导体包括:漏电极与形成于漏电极侧的漂移层、源电极与形成于源电极侧的源极接触层、形成在源极接触层旁边的栅电极、形成在漂移层与源极接触层之间的基极层与基电极。基极层包含由栅电极形成的沟道区,基电极与基极层相连。在BiMOS半导体装置中,在连续配置的栅电极之间的漂移层包括柱层,柱层中交替形成有第一导电型与第二导电型的数个柱,且在柱层与基极层之间形成有导电型与基极层不同的中间层。在本实用新型中,即使柱层和柱的数量跟沟道区的数量不匹配,也可以形成电流路径并且有效降低阻值。 | ||
| 搜索关键词: | bimos 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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