[实用新型]惯性传感器有效
| 申请号： | 202320566970.2 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN219384783U | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 朱启发 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01D11/00;G01D11/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 陈昆玲 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种惯性传感器，包括MEMS装置和盖体，MEMS装置包括MEMS结构和位于MEMS结构的端面的第一键合结构，盖体包括主体以及位于主体的端面的第二键合结构；第一键合结构包括第一介质部和第一金属部，第二键合结构包括第二介质部和第二金属部；第一金属部嵌入第一介质部内，并在第一介质部的厚度方向上贯穿第一介质部；第二金属部嵌入第二介质部内，并在第二介质部的厚度方向上贯穿第二介质部；第一介质部与第二介质部键合，第一金属部与第二金属部键合；第一金属部的键合面设置有第一增强结构，第二金属部的键合面设置有第二增强结构，第一金属部以及第二金属部实现电连接，第一介质部和第二介质部键合保证了惯性传感器的密封性。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
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