[实用新型]一种碳化硅外延片生长载具及设备有效
| 申请号： | 202320172391.X | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN219568128U | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 黄兴永;浩瀚;赵新田;周勋 | 申请（专利权）人： | 宁波合盛新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/12;C23C16/458 |
| 代理公司： | 宁波聚禾专利代理事务所(普通合伙) 33336 | 代理人： | 蒋承远 |
| 地址： | 315300 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种碳化硅外延片生长载具及设备，包括承载盘、盖环和衬底，盖环径向拼接于承载盘上，衬底径向拼接于盖环上，衬底和承载盘之间具有生长间隙，该载具的结构设计能够减少碳化硅外延过程中承载盘对衬底背面的影响，并能够保证温度场分布均匀，不影响外延过程的均匀性，提升碳化硅外延片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 生长 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波合盛新材料有限公司，未经宁波合盛新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202320172391.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种机加工辅助吊装夹具
- 下一篇：一种悬浮式口红支架
