[实用新型]一种靶材绑定加热平台有效
| 申请号： | 202320064935.0 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN219305050U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 居炎鹏;李心然;王永超;赵泽良 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/40 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 边延松 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及靶材加热装置技术领域，具体为一种靶材绑定加热平台，包括支撑底座，所述支撑底座的内部开设有安装仓，所述安装仓的内部左右两端分别通过轴承活动设置有转轴，所述转轴的外侧分别固定安装有主锥形齿轮，所述安装仓的内部顶端分别通过轴承活动设置有紧固丝杆，所述紧固丝杆的外侧顶部均固定安装有从锥形齿轮，所述支撑底座的顶部分别固定安装有电推杆和驱动电机，所述电推杆的顶部固定设置有承载台，所述承载台的内部分别设置有加热板和导热板，所述承载台的后侧设置有夹持机构，通过在靶材绑定加热平台中设置的夹持机构，进而达到了对靶材进行固定夹持的目的，保证了靶材与导热板的稳固接触，提高了对靶材的加热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 加热 平台 | ||
【主权项】：
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