[实用新型]一种靶材绑定加热平台有效

专利信息
申请号: 202320064935.0 申请日: 2023-01-10
公开(公告)号: CN219305050U 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 居炎鹏;李心然;王永超;赵泽良 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: H05B3/02 分类号: H05B3/02;H05B3/40
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 边延松
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 绑定 加热 平台
【权利要求书】:

1.一种靶材绑定加热平台,包括支撑底座(1),其特征在于:所述支撑底座(1)的底部端角处分别固定安装有支撑腿(101),所述支撑底座(1)的内部开设有安装仓(102),所述安装仓(102)的内部左右两端分别通过轴承活动设置有转轴(1021),所述转轴(1021)的外侧分别固定安装有主锥形齿轮(1022),所述安装仓(102)的内部顶端分别通过轴承活动设置有紧固丝杆(1023),所述紧固丝杆(1023)的外侧顶部均固定安装有从锥形齿轮(1024),所述紧固丝杆(1023)的外侧底部螺纹套设有支撑柱(1025),所述支撑柱(1025)的底部固定安装有滑轮(1026),所述支撑底座(1)的顶部分别固定安装有电推杆(103)和驱动电机(104),所述电推杆(103)的顶部固定设置有承载台(105),所述承载台(105)的内部分别设置有加热板(1051)和导热板(1052),所述承载台(105)的后侧设置有夹持机构(2);

所述夹持机构(2)包括固定安装在承载台(105)后侧顶端的支撑块(201),所述支撑块(201)有两个,两个所述支撑块(201)的相向侧分别通过轴承转动设置有双向螺纹杆(202)和滑动杆(203),所述双向螺纹杆(202)外侧的左右两端分别套设有L形挡板(204),位于右端所述支撑块(201)的右侧通过螺杆固定安装有伺服电机(205)。

2.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述转轴(1021)关于安装仓(102)的内部呈前后对称设置,所述驱动电机(104)的输出轴贯穿于支撑底座(1)的右侧表面并与转轴(1021)的右端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述主锥形齿轮(1022)和从锥形齿轮(1024)呈相对应设置并啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述支撑柱(1025)的横截面形状呈方形结构,且其的底端活动贯穿于安装仓(102)的内部底端并向外延伸,所述滑轮(1026)的外侧表面与支撑腿(101)的外侧不接触。

5.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述加热板(1051)的顶部表面与导热板(1052)的底部表面固定连接,所述导热板(1052)的顶部表面与承载台(105)的顶部表面相平齐。

6.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述双向螺纹杆(202)的外侧与L形挡板(204)的内壁螺纹连接,所述滑动杆(203)的一端依次活动贯穿于L形挡板(204)的左右两端表面。

7.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述伺服电机(205)的输出端贯穿于支撑块(201)的右侧表面并与双向螺纹杆(202)的右端固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种靶材绑定加热平台,其特征在于:所述L形挡板(204)的底部前端与承载台(105)的顶部表面无限贴合,且其的相向侧表面固定设置有软垫。

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