[发明专利]一种多元复合氮化物涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多元复合氮化物涂层及其制备方法，该方法采用高纯单质元素Cr、Al、Si、Mo以及非氮化物形成元素中的一种(例如Cu、Co、Ni、Mn)作为复合组元，以N2‑Ar混合气体作为反应气体，通过物理气相沉积制备的具有Cr、Al、Si、Mo以及非氮化物形成元素的多元复合氮化物涂层，该涂层的显著特征在于，Cr、Al、Si、Mo以及非氮化物形成元素含量比值为等摩尔比的，氮元素与其他元素(Cr、Al、Si、Mo以及非氮化物形成元素)的比值为1.0～2.0，组织主要为非晶态。该多元复合氮化物涂层具有高硬度、高涂层‑基体结合力、低应力以及较低的摩擦系数，是一种综合性能优异的复合涂层。