[发明专利]MEMS谐振器在审
| 申请号： | 202310971612.4 | 申请日： | 2023-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN116938187A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;谢国伟;李明 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种MEMS谐振器，包括谐振件、锚固件、驱动电极和感测电极；驱动电极和感测电极围绕谐振件而成对设置；谐振件分别与驱动电极和感测电极以第一容性间隙间隔设置；锚固件与谐振件侧向连接并分别与驱动电极和感测电极以第二容性间隙间隔设置；其中，第一容性间隙具有小于第二容性间隙的间隙尺寸，第二容性间隙的至少一侧壁上形成有齿状结构。本发明通过于非功能性电容间隙的侧壁形成齿状凸起，有效缩小非功能性电容间隙和功能性电容间隙之间的刻蚀速率差异，减轻刻蚀过快而造成的衬底损伤，从而实现MEMS谐振器信号检测的敏感度和降低信号噪声的平衡。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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