[发明专利]Bax在审

专利信息
申请号: 202310882307.8 申请日: 2023-07-18
公开(公告)号: CN116949396A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 顾宗铨;于浦;殷立峰;徐鸿涛;许凯;陆冰彬 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/24
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;陆尤
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明属于射频微波技术领域,具体为一种BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备办法。本发明方法包括:精确标定出各BaxSr1‑xTiO3成分的薄膜和衬底组合的微波介电谐振的工作温区;通过相场模型描绘铁电极化P在畴壁区域的实际分布,并结合分子动力学方法计算畴壁区域的原子运动轨迹,寻找局域性的声子散射模式,厘清ωr反转的微观机制;应用上述理论,以BaTiO3和SrTiO3的靶材,设计实现梯度成分的BaxSr1‑xTiO3薄膜的制备。本发明设计的BaxSr1‑xTiO3薄膜通过平均各单一成分在薄膜整体介电响应中的贡献,提升了薄膜的微波介电性能对温度的响应,为解决器件在实际应用中的发热问题提供解决方案。
搜索关键词: ba base sub
【主权项】:
暂无信息
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