[发明专利]用于中远红外薄膜制备的混合镀膜材料及中远红外薄膜

摘要

本发明提供了一种用于中远红外薄膜制备的混合镀膜材料。与现有技术相比，本发明利用熔点差异，达到使用电子束蒸发过程中下方的材料先熔化呈液态状态，而上方的材料不融化，将熔化方式改变为从下到上，起到了同钼舟熔化材料的同样效果，达到了有效防止熔化过程中出现气泡导致材料喷溅的可能，以便得到熔化状态良好的材料，并且在蒸发过程中也一定程度的降低了材料溅射到基板上的风险；另外使用该混合镀膜材料，也能够一定程度的提升抗激光损伤能力，还能降低混合材料成膜后的整体应力，从而在制备多层膜的时候，不易发生因应力过大而导致的脱膜，裂膜现象，能够形成更稳定的薄膜。