[发明专利]一种用于光学窗口的金刚石材料的制备方法在审
| 申请号： | 202310740183.X | 申请日： | 2023-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116752110A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 黄亚博;王旭磊;孙逸翔;高阳;黄宝柱;郭晓琴;张君豪 | 申请（专利权）人： | 郑州航空工业管理学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 张智伟 |
| 地址： | 450015 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明属于金刚石材料的制备技术领域，公开一种用于光学窗口的金刚石材料的制备方法。步骤为：S1、制备光学级多晶金刚石膜，随后对其切割、研磨、抛光、清洗；S2、在步骤S1制备的金刚石膜表面ICP刻蚀光学减反微结构层，刻蚀结束后清洗、烘干，放入真空皿备用；S3、采用磁控溅射技术，在步骤S2制备的金刚石膜的光学减反微结构层表面镀制稀土氧化增透膜，并依据步骤S2制备的带有光学减反微结构层的金刚石膜的折射率和光学增透膜理论设定镀制的稀土氧化增透膜的厚度；所述磁控溅射技术为预镀制和变速镀制相结合的方式。本发明制备的金刚石材料红外透过率高、热稳定性优异，特别适用于红外窗口等领域的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 窗口 金刚石 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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