[发明专利]一种溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 202310498635.8 | 申请日： | 2023-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN116240505A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张汉焱;郑丹旭;林意德;吴锡淳;吕岳敏 | 申请（专利权）人： | 汕头超声显示器技术有限公司;汕头超声显示器（二厂）有限公司;汕头超声显示器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人： | 陈烨彬;卢梓雄 |
| 地址： | 515000 广东省汕头市龙湖区龙江*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种溅射镀膜装置，包括设置在真空腔体中的溅射靶、防护罩、两个固定挡板和两个活动挡片组；溅射靶包括两个圆柱形靶材,两个圆柱形靶材处于防护罩中，防护罩的前侧具有条形溅射口；两个固定挡板并排设置在条形溅射口的左右两侧，两个活动挡片组分别设置在相应的固定挡板上，活动挡片组包括自上至下紧密排列的多个活动挡片，活动挡片可左右滑动安装在固定挡板上，各个活动挡片均可自条形溅射口的边沿伸出以构成对圆柱形靶材的遮挡；所述溅射镀膜装置还包括能够对两个活动挡片组的各活动挡片在左右方向上的位置进行调节的位置调节机构。这种溅射镀膜装置能够实现对溅射靶不同位置的溅射速率进行控制，从而提高镀膜的均匀性，达到均匀镀膜的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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