[发明专利]一种溅射镀膜装置

权利要求书

1.一种溅射镀膜装置，包括设置在真空腔体中的溅射靶，溅射靶包括左右并列设置且能够相对旋转的两个圆柱形靶材；其特征在于：所述溅射镀膜装置还包括防护罩、两个固定挡板和两个活动挡片组；两个所述圆柱形靶材处于防护罩中，防护罩的前侧具有供两个圆柱形靶材表面外露的条形溅射口；两个固定挡板并排设置在条形溅射口的左右两侧，两个活动挡片组分别设置在相应的固定挡板上，每个活动挡片组均包括自上至下紧密排列的多个活动挡片，活动挡片可左右滑动安装在固定挡板上，各个活动挡片均可自条形溅射口的边沿伸出以构成对所述圆柱形靶材表面的遮挡；所述溅射镀膜装置还包括能够对两个活动挡片组的各活动挡片在左右方向上的位置进行调节的位置调节机构。

2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述固定挡板上安装有滑轨板，滑轨板上设有自上至下依次排列的多个滑轨，各个滑轨均为左右走向；滑轨板上的滑轨与所述活动挡片组的活动挡片数量相同且一一对应，滑轨中安装有能够与其滑动配合的平移滑块，活动挡片安装在对应滑轨中的平移滑块上。

3.根据权利要求2所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述位置调节机构包括多个弹簧、多条拉线和多个拉线牵拉装置，拉线、弹簧、拉线牵拉装置与所述平移滑块的数量相同且一一对应，弹簧设于相应的滑轨中并处在对应的平移滑块与条形溅射口之间，弹簧的两端分别与相应的滑轨、平移滑块连接；各个拉线牵拉装置均设置在所述真空腔体外部；各条拉线的外端分别与拉线牵拉装置的动力输出端连接，各条拉线内端均伸入真空腔体中并分别与相应的平移滑块远离条形溅射口的一端连接。

4.根据权利要求3所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述拉线牵拉装置包括拉杆电机，拉杆电机的拉杆与相应的所述拉线外端连接。

5.根据权利要求3所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述滑轨板上设有多个绕线柱，各个绕线柱分别正对相应的所述滑轨远离条形溅射口的一端；各个所述拉线内端分别从相应的绕线柱绕过后伸入滑轨中并与所述平移滑块连接。

6.根据权利要求3所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述真空腔体的腔壁上设有多个接口，各个所述拉线的内端分别从相应的接口穿过后进入真空腔体内。

7.根据权利要求6所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述溅射镀膜装置还包括压板和密封橡胶板，压板安装在所述真空腔体的腔壁外侧；密封橡胶板夹设在压板和真空腔体的腔壁之间；压板、密封橡胶板上分别设有多个第一穿孔、多个第二穿孔，第一穿孔、第二穿孔均与所述接口的数量相同且一一对准配合，所述拉线的内端依次穿过第一穿孔、第二穿孔、接口后进入真空腔体内。

8.根据权利要求3-7任一项所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述拉线为表面光滑的金属线。

9.根据权利要求8所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述拉线为表面光滑的不锈钢线。

10.根据权利要求1-7任一项所述的一种溅射镀膜装置，其特征在于：所述溅射镀膜装置还包括控制装置和用于探测镀膜速率的速率探测器，速率探测器与控制装置相应的输入端电连接，位置调节机构与控制装置相应的输出端电连接。