[发明专利]一种金刚石薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及金刚石薄膜技术领域，具体为一种金刚石薄膜及其制备方法，该制备方法包括：S1、在基底表面制备一层掺杂锌的金刚石薄膜；S2、将所述掺杂锌的金刚石薄膜先在惰性气氛中进行高温处理，使部分锌蒸发形成多孔结构，得到掺杂锌的多孔金刚石薄膜；S3、在所述掺杂锌的多孔金刚石薄膜表面制备一层纯的金刚石膜。本发明利用锌的沸点相对较低特性，在金刚石薄膜中掺杂锌，可通过加热使部分锌蒸发形成多孔结构，将其作为过渡层，能够利用多孔结构释放热应力，缓解基底和金刚石膜之间热膨胀系数差异的影响，从而显著提高金刚石膜的附着力、硬度和耐磨使用寿命，而且具有良好的透光性。