[发明专利]变形镜的设计方法在审
| 申请号： | 202310473329.9 | 申请日： | 2023-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN116520562A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;李金潮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B26/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 樊晓 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种变形镜的设计方法，包括：根据目标行程要求，确定变形镜的镜面和促动器的结构参数范围；构建变形镜仿真模型，获得各个促动器的影响函数；通过将各个促动器的影响函数代入高精度电压迭代算法，反复优化各个促动器的控制电压，获得初始拟合面形；以及对所述初始拟合面形进行效果评估并进行结构优化，获得拟合效果最佳的变形镜结构，完成变形镜的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 设计 方法 | ||
【主权项】：
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