[发明专利]变形镜的设计方法

权利要求书

1.一种变形镜的设计方法，包括：

根据目标行程要求，确定变形镜的镜面和促动器的结构参数范围；

构建变形镜仿真模型，获得各个促动器的影响函数；

通过将各个促动器的影响函数代入高精度电压迭代算法，反复优化各个促动器的控制电压，获得初始拟合面形；以及

对所述初始拟合面形进行效果评估并进行结构优化，获得拟合效果最佳的变形镜结构，完成变形镜的设计。

2.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，目标行程要求为不大于100μm。

3.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，所述促动器包括驱动柱，所述驱动柱的制成材料选自层叠压电片材料、电致伸缩材料；所述镜面的制成材料选自单晶硅、SiC、金、银、铝。

4.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，所述变形镜仿真模型为连续式变形镜有限元仿真模型。

5.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，所述影响函数为各个促动器单独施加单位电压后产生的面形点云坐标矩阵。

6.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，所述通过将各个促动器的影响函数代入高精度电压迭代算法，反复优化各个促动器的控制电压，包括：定义一个迭代评价参数，当评价参数为最小值时电压停止优化；所述评价参数用目标面形和当前初始拟合面形的标准泽尼克系数向量偏差表示。

7.根据权利要求6所述的变形镜的设计方法，通过最速下降法反复优化各个促动器的控制电压，直到评价参数为最小值时停止优化。

8.根据权利要求1所述的变形镜的设计方法，通过残余面形RMS值和面形PV值对面形拟合效果进行评估。

9.根据权利要求8所述的变形镜的设计方法，进行结构优化时，首先确定最优的促动器排布方式，然后确定促动器数量，最后确定促动器间距，反复优化以得到残余面形RMS值最小的变形镜结构。

10.根据权利要求9所述的变形镜的设计方法，变形镜排布方式按对称性排布，最外围促动器尽量靠近镜面边缘。