[发明专利]一种镀膜机行星转动机构

摘要

本发明涉及镀膜设备领域，公开了一种镀膜机行星转动机构，包括转动机构和设置在所述转动机构外侧的壳体，所述壳体包括包括腔体上板、腔体下板和侧壁板以及门，所述转动机构包括电机、联轴器和钢管，所述联轴器上连接有轴，所述钢管通过法兰连接在腔体下板上，所述轴远离所述电机的一端连接有旋转轴杆，所述旋转轴杆的两侧设有第一圆锥齿轮和第二圆锥齿轮，所述圆锥齿轮上均连接有托盘，两个所述圆锥齿轮的下方设有第三圆锥齿轮，本发明提高了效率并提高了膜层加工效果，使得膜层更加均匀，使得工件在真空镀膜机内实现多种自由度的复合运动，来保证蒸镀过程中对膜层均匀性的要求,同时为后续异形光学零件的镀膜提供技术支撑。